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简要描述：开云娱乐app下载中心红钻娱乐网站利用亮场和暗场显微成像技术，通过自动化的图像捕捉以及人工智能分析工具，为晶圆表面缺陷的检测提供了快速且高效的解决方案。

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更新时间：2023-11-22
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开云娱乐app下载中心红钻娱乐网站 这款高度集成的桌面仪器利用亮场和暗场显微成像技术，通过自动化的图像捕捉以及人工智能分析工具，为晶圆表面缺陷的检测提供了快速且高效的解决方案。设备主要用于检测如衬底片和外延片的缺陷，包括位错、颗粒、凹坑、划痕和污染等类型的瑕疵，并且可以根据客户的需求进行定制服务

光学成像系统：

10X 远场消色差长工距显微镜头

0.8X 扩视野相机转接镜筒

500万像素采集相机

LED同轴反射光源

辅助自动聚焦激光传感器

自动运动平台：包括 4寸，6寸和8寸Wafer载物台夹具1套

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